广东清远高新技术产业开发区行政审批局拟对广东先导微电子科技有限公司半导体芯片产业化项目环境影响评价文件作出批准决定的公示

发表时间： 2022-01-17 16:44 来源：广东清远高新技术产业开发区行政审批局 　　

　　根据广东先导微电子科技有限公司半导体芯片产业化项目环境影响评价文件、技术评估报告等，按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我审批机构拟对该项目环境影响评价文件作出批准决定。为体现公开、公正的原则，强化公众参与，现予公示。公示期5个工作日（2022年01月17日至2022年01月21日）。如有意见，请在公示期内来信或来电向我审批机构反映。

　　联系地址：清远市清城区广清大道113号清城区政务服务中心3楼6号窗，邮编：511500

　　联系电话：0763-3665506

　　传 真：0763-3665566

　　听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示之日起五个工作日内申请人及有关利害关系人可对我审批机构拟作出的决定提出听证申请。

项目名称	广东先导微电子科技有限公司半导体芯片产业化项目
建设地点	清远高新区百嘉工业园27-9号ji（即清远先导材料有限公司厂区内）
建设单位	广东先导微电子科技有限公司
项目概况	利用先导厂区在建的芯片车间（原砷车间）新增设备建设年产10000万颗射频芯片（PA）、4500万颗光通讯芯片（PD）生产线及年产3000万颗器件（芯片）封装生产线、2000万个光通讯模块生产线的半导体芯片产业化项目。
环评机构	湖南新瑞智环境科技有限责任公司
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施	（一）环境空气保护措施及环境影响   根据《报告表》，本项目产生的废气主要为光刻（含光刻、BCB光刻及SiO2光刻）、有机清洗（含剥离、去胶清洗、去蜡清洗）过程中产生的有机废气（NMHC）；无机酸洗、刻蚀过程中产生的酸雾；沉积过程中产生的废气（氮氧化物）；烘烤、塑封、焊接等过程中产生的有机废气（NMHC）；焊接、烘烤过程中产生的颗粒物（锡及其化合物）；贴片烘烤过程中产生的有机废气（NMHC）。   光刻废气由密闭设备直接通过管道收集，有机清洗工序产生的有机废气通过半封闭集气罩收集，一并经一套二级活性炭吸附装置（TA002）处理后，由20米高排气筒（DA002）排放。非甲烷总烃排放执行广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准及无组织排放监控浓度限值。   蚀刻废气、沉积废气由密闭设备直接通过管道收集，无机清洗工序产生的有机废气通过半封闭集气罩收集，一并经一套碱液喷淋塔（TA001）处理后，由20米高排气筒（DA001）排放。硫酸雾、磷酸雾、氟化物、氯化氢、氮氧化物排放执行广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准及无组织排放监控浓度限值。   烘烤废气由密闭设备直接通过管道收集，塑封、焊接废气通过通风橱收集，一并经一套二级活性炭吸附装置（TA003）处理后，由20米高排气筒（DA003）排放。锡及其化合物、非甲烷总烃排放执行广东省地方标准《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准及无组织排放监控浓度限值。   厂区内有机废气排放还应达到《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB 37822-2019）表A.1 厂区内VOCs无组织排放限值的特别排放限值要求。   根据《报告表》分析，项目废气污染物达标排放，对周边大气环境影响较小。 （二）地表水环境保护措施及环境影响   根据《报告表》，本项目营运期产生的废水主要为酸洗废水、有机废水、研磨废水、切割废水、清洗废水、喷淋废水以及员工生活污水。   员工生活污水经三级化粪池、食堂含油污水经隔油隔渣池预处理，达到广东省地方标准《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）第二时段三级标准与龙塘污水处理厂进水水质指标中的较严格者后排入市政污水管网，进入龙塘污水处理厂处理，尾水排入大燕河。   酸洗废水、有机废水通过“隔油+A/O”废水处理设施预处理、清洗废水通过隔油预处理后，与喷淋塔废水一并依托先导厂区“化学处理+混凝沉淀+2#MVR”处理，达到《无机化学工业污染物排放标准》（GB 31573-2015）间接排放标准、《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1 间接排放限值及龙塘污水处理厂进水水质标准的较严值后，一并由清远先导材料有限公司排放口（WS-OR00688）排入市政污水管网，进入龙塘污水处理厂处理，尾水排入大燕河。   研磨废水、切割废水经化学沉淀预处理达到《电子工业水污染物排放标准》（GB 39731-2020）表1中“总砷”排放限值后依托先导厂区1#MVR处理达到《城市污水再生利用 工业用水水质》（GB/T 19923-2005）敞开式循环冷却水系统补充水标准后，回用于先导厂区冷却循环水补充水，不外排。   根据《报告表》分析，项目废水污染物达标排放，对周围地表水环境影响较小。 （三）声环境保护措施及环境影响   根据《报告表》，项目噪声污染源主要来源于各车间生产设备运转时产生的机械噪声，噪声源等效声级在70~75dB(A)之间。   项目拟选用低噪声设备，厂区合理布局、合理安排生产时间，采取隔声、减振措施，加强噪声设备的维护管理，降低噪声对周围环境的影响。   根据《报告表》分析，项目的边界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB12348-2008）中3类声环境功能区排放限值，对周围环境影响较小。 （四）固体废物污染治理措施及环境影响   根据《报告表》，产生的固废主要为员工生活垃圾、一般工业固废及危险废物。   项目员工的生活垃圾分类收集后，统一交由环卫部门及时清运处置；废树脂、焊渣、废载具、生化污泥分类收集后定期交由专业公司回收处理；废硫酸、废磷酸、废显影液、废去胶液、有机废液、不合格芯片、含氟废液、砷化镓碎屑、不合格产品、废胶水、废活性炭、废包装材料、隔油池废油、含砷污泥等等属于危险废物，交由具有危险废物处理资质的单位处置。
公众参与情况




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